지난해 12월 세계 최고 EUV 노광장비 생산업체인 네덜란드 ASML 전 직원이 ASML과 NXP의 영업 비밀을 훔친 혐의로 구속됐다.
최근 네덜란드 언론 NRC는 최근 이 기밀 유출 사건에 대한 자세한 내용을 공개하면서 해당 기밀이 러시아가 자국 내에 건설하려는 28nm 웨이퍼 공장에 사용됐다고 밝혔다.
ASML은 세계 최고의 반도체 EUV(극자외선) 노광장비 제조업체다. 현재 TSMC, 삼성전자, 인텔 등에서 생산되는 5nm 이하 반도체 칩은 모두 ASML의 EUV 노광 장비를 사용한다.
ASML 이외에 현재 전 세계적으로 노광장비를 제작할 수 있는 기업은 일본 니콘과 캐논, 중국 상하이 마이크로 일렉트로닉스 등 3사 뿐이지만 ASML과 여전히 엄청난 기술 차이를 보이고 있다.
이런 가운데 러시아가 자국 최초의 350nm 노광장비를 개발했다고 밝혔다. 350nm 공정은 시대에 뒤떨어진 것처럼 보이지만 자동차나 에너지, 통신 및 기타 분야에서는 여전히 상당한 수요가 있다.
러시아 매체 보도에 따르면 세르게이 소뱌닌 모스크바 시장은 모스크바 소재 젤레노그라드 나노기술 센터에서 러시아 최초의 350nm 리소그래피 장비(EUV 노광기)에 대한 연구 개발을 완료했으며, 곧 대량 생산에 들어갈 예정이라고 발표했다.
네덜란드는 ASML 기술 유출이 러시아가 개발했다는 EUV 노광장비로 흘러들어 갔을 것으로 의심하고 있다.
NXP는 네덜란드의 반도체 칩 제조업체로 자동차 및 산업용 반도체 칩 분야에서 세계를 선도하는 업체다.
네덜란드 검찰은 전 직원이 ASML과 NXP로부터 기밀을 훔치고 반도체 칩과 제조 장비를 생산하는 방법에 대한 매뉴얼을 넘긴 혐의로 기소했다.
기소장에 따르면 그는 2022년 러시아-우크라이나 전쟁이 발발하기 전부터 정보를 수집했고, 나중에 USB 드라이브, 앱, 공유 Google Drive를 통해 러시아에 있는 공범과 이 정보를 공유했다.
그는 러시아 정보기관 SVR에 연락한 뒤 모스크바에서 기밀"문서가 담긴 USB 스틱을 넘기고 약 4만 유로(6,357만 원)의 자금을 받은 것으로 파악됐다.
거래한 기밀정보에는 ASML 관련 문서 105건, TSMC 관련 문서 88건, 글로벌파운드리, NXP 관련 문서 등이 포함된 것으로 전해졌다.
