러시아가 자국 최초의 350nm EUV(극자외선) 노광기를 개발했다고 밝혔다.
350nm 공정은 시대에 뒤떨어진 것처럼 보이지만 자동차나 에너지, 통신 및 기타 분야에서는 여전히 상당한 수요가 있다.
러시아 매체 보도에 따르면 세르게이 소뱌닌 모스크바 시장은 26일(현지 시간) 모스크바 소재 젤레노그라드 나노기술 센터에서 러시아 최초의 350nm 리소그래피 장비(EUV 노광기)에 대한 연구 개발을 완료했으며, 곧 대량 생산에 들어갈 예정이라고 발표했다.
러시아는 2023년 초에 2024년부터 350nm 리소그래피 장비를 생산하고 2026년에는 130nm 리소그래피 장비 생산에 나설 것이라고 밝힌 바 있다. 350nm EUV 노광장비 출시는 당초 예정보다 수개월 늦어졌다.
러시아의 EUV 노광장비 생산은 모스크바, 젤레노그라드, 상트페테르부르크, 노보시비르스크에 있는 여러 개 공장에서 수행될 예정이다.
소뱌닌시장은 “핵심 반도체 장비를 제조할 수 있는 나라는 전 세계적으로 10개국도 안 되며, 러시아도 그 중 하나가 되었다”면서 “이는 러시아가 반도체 국산화를 위한 기술적 독립을 달성하는 데 중요한 단계”라고 강조했다.
러시아의 EUV 노광장비는 현재 유일한 공급사인 네덜란드 ASML 장비와는 완전히 다른 것으로, 수은 램프 광원 대신 고체 레이저를 사용한다. 이는 고출력, 고에너지 효율, 긴 수명 및 집중된 스펙트럼을 제공하는 장점이 있다고 소뱌닌 시장은 밝혔다.
러시아개 개발한 EUV 노광기 작업 영역은 22x22mm로 최대 직경 200mm의 웨이퍼를 생산할 수 있는 것으로 알려졌다.
이는 최근 중국 과학원이 개발에 성공한 EUV 노광장비와 비슷한 기술로, 중국 제품은 3nm 노드 생산이 가능한 것으로 알려졌다. 다만 이 기술은 현재로서는 전력 소모량과 주파수 측면에서 매우 큰 단점이 있어 양산까지는 보완이 필요한 것으로 파악되고 있다.
러시아는 350nm에 이어 내년 출시를 목표로 130nm 리소그래피 장비의 개 중이며, 이보다 진보된 65nm 노드 개발도 진행 중인 것으로 알려졌다.
