삼성전자의 반도체 핵심기술을 훔쳐 제작한 반도체 세정장비를 중국에 팔려 한 일당이 적발됐다.
삼성의 반도체 기술을 훔쳐 중국 등에 넘기려다 적발된 건수가 1년도 안 돼 세 번이나 된다. 업계에서는 삼성이 반도체 기술에서 중국에 곧 추월당할 것이란 우려의 목소리가 커지고 있다.
지난 19일 수원지검 방위사업. 산업기술범죄수사부는 중국 반도체 업체의 국내 계열사인 반도체 세정장비업체 A사를 운영하는 B 씨(55세), 설계 팀장 C 씨(43세)를 산업기술보호법 위반 등의 혐의로 구속하고, 같은 회사 직원 9명과 관련 법인 3곳을 불구속 기소했다고 밝혔다.
검찰에 따르면 삼성전자 엔지니어 출신인 B씨 등은 2021년 10월부터 지난해 4월까지 삼성전자 자회사인 세메스 출신 퇴사자로부터 확보한 세정 장비 도면과 공정 레시피(장비 구동 세부 절차와 방법을 정리한 문서) 등을 활용, 세정 장비를 제작해 중국에 수출하려다 직전에 덜미를 잡혔다.
이들은 세정 장비 챔버부(장비 내에 구성된 세정 작업이 실제로 진행되는 부분) 도면을 입수한 뒤 이를 기초로 새로운 수출용 장비 챔버부를 제작하고, 세정 장비 이송로봇 도면을 도용해 새 로봇을 설계, 제작한 것으로 알려졌다.
이들이 중국에 팔아 넘기려 한 반도체 세정기술은 공정 중 발생하는 머리카락 1만분의 1 굵기의 이물질을 정밀하게 제거하는 초고난도 기술로, 삼성전자와 자회사인 세메스가 30여년간 2,188억 원을 들여 세계 최고 수준으로 완성한 핵심기술이다.
B 씨 등은 중국에 넘기려 한 세정 장비를 자체 개발했다며 범행을 부인하고 있으나 검찰은 새롭게 개발한 포렌식 기법으로 자료에 남겨진 ‘디지털 지문’을 확인, 삼성전자 등의 기술이 도용된 사실을 밝혀냈다.
검찰은 “피고인들이 유출하려던 세정 공정 자료와 세정 장비 설계도면 등은 반도체 세정 핵심기술로, 만약 기술이 그대로 유출돼 동일한 품질 설비가 대량 생산됐다면 국내 반도체 산업에 회복 불가능한 손해가 발생했을 것”이라고 밝혔다.
앞서 지난 12월에도 삼성전자의 반도체 핵심 인력들을 중국 업체 청두가오전(CHJS)에 대거 스카우트해 삼성의 독자적인 20나노 D램 기술을 빼돌린 브로커가 경찰에 덜미를 잡혔다.
2017년 삼성전자를 퇴사한 후 청두가오전 고문이 된 A씨는 국내에 헤드헌팅 업체를 차리고 삼성전자 핵심 인력들에 기존 연봉의 최소 2~3배를 약속하며 중국으로 끌어들였다. 고액의 연봉은 물론 주거비, 교통비 지원 등을 제시했다.
경찰은 A씨와 같은 방법으로 국내 반도체 전문인력을 유출한 헤드헌팅업체 대표 B씨 등 2명도 같은 혐의로 불구속 송치했다.
두 업체가 청두가오전에 유출한 인력은 30명이 넘는 것으로 알려졌으며 경찰은 인력 유출로 인한 경제적 손실이 4조원대 이상으로 추정했다.
지난해 4월에 삼성전자 등 국내 반도체 기업에서 핵심기술과 인력을 빼돌려 중국에 반도체 장비업체를 차린 전직 삼성전자 메모리사업부 부장 김모씨(56) 등 8명을 산업기술의유출방지및보호에관한법률 위반 등 혐의로 기소했다.
이들은 삼성전자 등 국내 반도체 기업으로부터 ALD (Atomic Layer Deposition 원자층 증착) 장비 관련 자료 등 반도체 핵심 기술을 훔쳐 중국으로 유출했다.
ALD 장비는 D램 반도체 제조에 있어 핵심적인 장비로, 국내 ALD 장비기술은 세계 최고 수준으로 평가받는다.
김씨는 큰 돈을 벌기 위한 목적으로 중국 태양광 회사로부터 투자를 받고 중국에 반도체 장비회사 X사를 설립했다.
